Domestic Conferences 웨이퍼 검사비용 최적화를 위한 웨이퍼 결함 맵 생성 모델
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작성자 관리자
조회 673회 작성일 25-11-12 16:30
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| Conference | 2025 대한산업공학회 추계학술대회 |
|---|---|
| Name | 김범석, 김규훈, 이동희 |
| Year | 2025 |
본 연구에서는 공정 중 진행되는 웨이퍼 검사 비용 최적화 및 효과적인 웨이퍼 결함 식별을 위해 Masked Image Modeling(MIM) 기반 웨이퍼 결함 맵 생성 시스템을 제안합니다. 모델은 Vision Transformer(ViT) 인코더를 통해 결함 맵의 특징을 학습하고, 복원 디코더를 통해 원본 결함 맵을 복원하도록 설계하였습니다. 학습된 모델은 부분적으로 마스킹된 결함 맵을 안정적으로 복원하였습니다. 본 연구에서 제안하는 시스템은 공정 중 진행되는 웨이퍼의 검사 비용을 절감하고, 샘플링을 통해 도출되는 결함 맵 상의 결함을 엔지니어가 보다 쉽고 신속하게 식별하는데 기여합니다.