Domestic Conferences 경로 데이터와 대기시간 제약을 고려한 반도체 웨이퍼 수율 예측 연구
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작성자 관리자
조회 351회 작성일 25-07-01 11:32
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| Conference | 2025 대한산업공학회 춘계공동학술대회 |
|---|---|
| Name | 송유나, 이수경, 이동희 |
| Year | 2025 |
반도체 제조는 수백 개의 공정 단계와 단계별 병렬 설비로 이루어진 복잡한 다단계 구조를 갖는다. 이러한 다단계 공정 특성으로 인하여 제품은 같은 공정 단계를 거치더라도 설비 선택에 따라 경로와 공정 간 대기시간이 달라지며, 이들은 궁극적으로 수율에 영향을 미친다. 본 연구는 공정 경로와 공정 간 대기시간이라는 두 가지 정보를 함께 고려한 수율 예측 모델을 제안한다. 회귀, 트리 기반, 그리고 신경망 등 여러 머신러닝 알고리즘을 활용하여 앙상블 모델을 구축하였다. 제안된 모델은 6개의 공정 단계와 그에 따른 대기시간 데이터에 대해 약 84%의 높은 예측 정확도를 달성하였다.