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Domestic Conferences 어텐션 기반 웨이퍼 빈 맵 이미지 캡셔닝

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작성자 관리자
조회 309회 작성일 25-06-30 16:34

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Conference 2025 대한산업공학회 춘계공동학술대회
Name 김범석, 신진수, 이동희
Year 2025

최근, 반도체 제품의 다양화와 웨이퍼 상에 집적되는 칩의 증가로 인해 반도체 공정이 복잡해짐에 따라, 기존의 단순 웨이퍼 불량 분류 시스템만으로는 동일한 클래스 내에서도 다양한 형태의 불량을 효과적으로 분석하거나, 그 원인이 되는 공정을 정확히 파악하는 데 한계가 존재한다. 본 연구에서는 동일한 클래스 내에서도 다양한 형태의 불량을 효과적으로 분석하기 위해 이미지 캡셔닝 기법을 도입하여, 웨이퍼 빈 맵(WBM) 불량 패턴을 분류하고, 불량 형상에 대한 캡션을 자동 생성하는 시스템을 제안한다, 모델은 CNN(Convolutional Neural Network) 인코더와 어텐션 모듈을 통해 특징 맵을 추출하고, 이를 LSTM(Long Short-term Memory) 모델에 전달하여 WBM 이미지별 캡션을 생성하도록 설계하였다. 본 연구에서 제안하는 모델은 단순히 WBM 불량 패턴 클래스의 분류에서 그치지 않고, 클래스 내에서도 세부적인 레이블 정보 없이 불량 패턴에 대한 세부적인 묘사를 포함하는 캡션을 생성할 수 있다. 

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